半導体・量子素子高分解能放射光分析技術研究組合
当技術研究組合は、NEDO「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発」に事業者として採択されましたので報告いたします。 この事業では、高輝度大型放射光施設「SPring-8」のX線による先端ロジック半導体のための3次元非破壊計測技術を開発してまいります。詳細はこちらをご覧ください。